マイクロエプシロンのレーザ距離計 optoNCDT ILR3800-100 は、さまざまな表面上で非常に高い精度、信号安定性、繰り返し性を提供し、最大150mの距離を測定します。頑丈でコンパクトなセンサは取り付けが容易で、幅広い産業用途に使用できます。分解能は0.1mm、測定レートは20Hzで、物流、オートメーション、鉄鋼業などの分野に適しています。

三角測量レーザー式センサoptoNCDT 1900シリーズは、コントローラ内蔵かつコンパクトなサイズながら、オートメーションプロセスで変位、距離、位置の測定をダイナミックに行います。

共焦点式変位センサシステムconfocalDT IFD241xシリーズは、一般的な産業用イーサネットに対応しており、高精度が要求される精密オートメーションにおける多くのアプリケーションにおいてご使用いただけます。また、このコンパクトなセンサシステムは、直感的かつユーザーフレンドリーなウェブインターフェースにより操作も簡単です。

IMS5420-THは、半導体製造工程における単結晶シリコンウェーハの厚さ測定を新たな視点で切り開きます。広帯域スーパールミネッセントダイオード（SLED）の採用により、アンドープ、ドープおよびハイドープシリコンウェハの厚さ測定が可能になりました。0.05 ～ 1.05 mmまでのシリコンウェーハの厚さ測定に対応でき、エアギャップにおいては4 mmまでの測定を実現しました。