最高精度の分解能を保証する静電容量マルチチャネルシステム
静電容量式変位センサは、最高精度の分解能が要求される測定タスク用に設計されています。静電容量マルチチャネルシステムcapaNCDT 6500はサブナノメートルレベルでの安定した測定に適しており、コントローラのデータ転送最高速度は最大7.8 kHz(デジタル、最大4チャネル)、帯域幅は8.5 kHzです。アナログ出力の他にも、EtherCATがインターフェースとして使用でき、EtherCATによりエラーフリーかつリアルタイムのデータ転送や、現行の測定環境への素早い統合、2つのシステムの同期が可能となっています。また、capaNCDT 6500のコンフィグレーションはウェブブラウザを介して簡単に行うことができます。
最高精度の分解能
capaNCDT 6500システムは、サブナノメートルの分解能が要求される測定タスクのために設計されています。とりわけ半導体産業分野でのポジショニングや、研究所で使用する場合にcapaNCDT 6500の強みが発揮されます。このシステムはモジュラー構造で、マルチチャネルで使用できるように設計されており、プリアンプを介して最大8つまでのセンサを信号処理エレクトロニクスに接続することができます。
ウェブインターフェースを介した簡単な操作
コントローラとセンサのコンフィグレーションはすべて、操作の簡単なウェブインターフェースを介して行うことができます。追加ソフトウェアは必要ありません。Ethernet接続でウェブインターフェースを呼び出せば、設定をすべてそこで行うことができるので、フィルタや算術演算だけでなく、トリガー機能や測定値保存、リニアライズといったその他のパラメータを簡単に適用することができます。
ダウンロード
- データシート capaNCDT 6500 (pdf, 1.44 MB)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 MB)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 MB)
- sensorTOOL V1.12.0 (exe, 17.33 MB)
- Firmware update DT6530: SW1.4o / FW1.2i / Web-Build 20618 (zip, 1.23 MB)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 37.43 KB)
- MEDAQLib V5.1.1 (zip, 22.49 MB)