サブマイクロメートル精度で安定した厚さ測定を行うための白色光干渉計
新しい白色光干渉計IMS5400-THは、産業分野における厚さ測定に新たな展望を切り開きました。このコントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、透明な測定対象物の厚さ測定を最高精度で行うことができます。
変動する測定距離での安定した厚み測定
白色光干渉計 IMS5400-THは、比較的長い距離から高精度で厚み測定を行うために使用されます。その際の決定的な利点は、可動測定対象物でもナノメートル精度で厚み値が得られる距離に依存しない測定です。広い厚み測定範囲によって、薄い層、板ガラス、フィルムを測定することができます。白色光干渉計は近赤外域でSLEDで動作するため、反射防止コーティングされたガラスの厚み測定も可能です。
多層体の厚さ測定
マルチピークコントローラーには様々なバリエーションがあり、複数の信号ピークを同時に評価することができるため、透明体や合わせガラスなどの多層膜厚測定が可能になっています。このコントローラは、ターゲットの位置に左右されることなく極めて安定した厚さ値を出力します。
工業環境に理想的
堅固なセンサおよび金属ハウジング内のコントローラは、生産ラインへの組込み用システムに最適です。コントローラはDINレールを取り付けて制御キャビネットに装着することができ、能動温度補正機能および受動冷却機能により極めて安定した測定結果をもたらします。このコンパクトはセンサは設置スペースを大幅に節減し、また柔軟性の高い光ファイバケーブルが搭載されています。最大10 mのケーブル長さによって、センサとコントローラを空間的に隔てることができます。センサにはパイロットレーザが内蔵されているため、容易に素早く位置調整することができます。セットアップとパラメータ化はWebインターフェースを介してスムーズに行うことができ、ソフトウェアのインストールは不要です。
要求の厳しい測定タスクに対応する多様なモデル
| モデル | 測定範囲 / 測定範囲の開始点 |
直線性 |
測定可能な層の数 |
応用分野 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-TH45 | 0.035～1.5 mm (BK7、n=1.5の場合) / 約41.5 mm（動作範囲: 約 4.2 mm） |
±100 nm | 1層 | 産業用インライン厚さ測定 例：単層ガラスのフロートガラス生産時 |
| IMS5400-TH45/VAC |
クリーンルーム環境および真空下でのインライン厚み測定（例：ディスプレイ製造における真空下でのギャップ測定時） |
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| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | 最大5層まで | 産業用インライン多層膜測定 （例：多層ガラスのフロートガラス製造時など） |
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| IMS5400MP-TH45/VAC |
クリーンルーム環境下でのインライン多層膜測定（例：ディスプレイ製造における真空下での多層膜測定時など） |
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| IMS5400-TH70 | 0.035～1.5 mm (BK7、n=1.5 の場合) / 約68 mm (動作範囲: 約4.2 mm) |
±200 nm | 1層 | 産業用インライン厚さ測定 （例：単層フィルムのフィルム製造時など） |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | 最大5層まで | 産業用インライン多層膜測定 （例：多層フィルムのフィルム製造時など） |
Interface and signal processing units
機械やシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラにはEthernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロンのインターフェースモジュールを使用すればPROFINETとEthernetIPも利用可能なので、この干渉計はあらゆる制御システムや生産プログラムに組み込むことができます。
