色共焦点センサ
confocalDTセンサシリーズの特徴は、共焦点式測定機器における最高の精度とダイナミクスです。このセンサは、距離測定や透明なターゲットの厚み測定でも高精度・高速で測定を行うことが可能です。先進的なコントローラ／センサ技術は、あらゆる表面で高度な信号安定性を提供します。パワフルなセンサポートフォリオによって、板ガラス製造、測定機、半導体機械製造など、多様な測定タスクの解決を実現します。
モデル一覧
共焦点式変位測定および厚さ測定における最高の精度
confocalDTセンサシリーズの特徴は、共焦点式測定機器における最高の精度とダイナミクスです。これらのセンサは多種多様な測定タスクのソリューションに活用されています。
正確な測定を実現する最大のセンサポーフォリオ
各測定タスクに適したセンサをお選びいただくために：限られた設置スぺース、曲面の測定、半導体産業におけるナノメートル精度の測定など、confocalDTセンサでは、数々のアプリケーションで実績のあるシリーズを多数ご用意しております。
新世代のセンサ
confocalDT IFD2415とIFD2410は、コントローラ内蔵の高性能な共焦点式センサです。IP65の省スペース型ハウジングは光ファイバケーブルが不要なため、素早く組み込むことができます。これらのセンサは高精度な距離・厚み測定に最適です。IFD2415の場合は、最大5層までのマルチピーク厚み測定も可能です。アクティブな露光時間制御により、25 kHzまでの動的なプロセスにおいても様々な表面を安定して測定することができます。
真空環境での使用
受動素子で構成されるconfocalDTセンサは、環境に熱を放出しません。マイクロエプシロンは、真空環境で使用するために、各仕様（クリーンルーム、真空、超高真空）に適した専用のセンサ、ケーブル、付属品を提供しております。様々な測定範囲に対応する真空センサは、軸方向や半径方向のビーム路の仕様でもご用意しています。
あらゆる表面で高精度を実現
Webインターフェースを介した容易な操作
コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアを必要とすることなく、使いやすいWebインターフェースを介して実行されます。すべての設定を行えるWebインターフェースは、Ethernet接続を介して呼び出すことができます。厚み測定用に、自在に拡張可能な材質データベースが保存されています。
容易な統合を可能にする多数のインターフェース
動画：距離・厚み測定用の色共焦点センサ
インターフェース・算出処理ユニット
Application
