非接触での距離・厚さ測定に対応した高精度な白色光干渉計
マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てました。
測定範囲とベース距離が比較的大きく、サブナノメートルの分解能で安定した測定結果を可能にするセンサを備えています。干渉計には高精度での産業用途向け距離測定用のIMS5400-DS、精密な厚さ測定用のIMS5400-TH、真空対応でピコメータ分解能を持つ距離測定用のIMS5600-DSの4つのシリーズがあります。
ウェーハの厚さ測定にはIMS5420-THが使用されています。
モデル一覧
工業分野およびオートメーションのための干渉計
工業用途に適した白色光干渉計は、堅固なセンサ、柔軟性の高いセンサケーブル、そしてDINレールに固定できるアルミニウム製ハウジング内のコントローラで構成されています。コントローラには能動温度制御機能が搭載されています。この機能は周囲温度の変化で補正されるため、比類ない温度安定性が得られます。干渉計の堅固なフォームファクタのおかげで、工業環境にも組み込むことができます。さらに最大10 mのケーブル長さによって、コントローラとセンサを空間的に隔てることができます。クリーンルームや真空空間での測定タスクに対応し、真空環境に適したセンサ、ケーブルおよびケーブルダクトが搭載されています。

極小の細部や構造を測定するための小さな光点
センサは、測定範囲全体にわたって小さな光点を形成します。光点の直径はわずか10 µmで、半導体や小型電子機器部品の構造といった小さな細部も検知することができます。光点はパイロットレーザで可視化され、センサの位置調整を容易にします。
Interface and signal processing units
機械やシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラにはEthernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロンのインターフェースモジュールを使用すればPROFINETとEthernetIPも利用可能なので、この干渉計はあらゆる制御システムや生産プログラムに組み込むことができます。





