非接触での距離・厚さ測定に対応した高精度な白色光干渉計
マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てました。
測定範囲とベース距離が比較的大きく、サブナノメートルの分解能で安定した測定結果を可能にするセンサを備えています。干渉計には高精度での産業用途向け距離測定用のIMS5400-DS、精密な厚さ測定用のIMS5400-TH、真空対応でピコメータ分解能を持つ距離測定用のIMS5600-DSの4つのシリーズがあります。
ウェーハの厚さ測定にはIMS5420-THが使用されています。
工業分野およびオートメーションのための干渉計
工業用途に適した白色光干渉計は、堅固なセンサ、柔軟性の高いセンサケーブル、そしてDINレールに固定できるアルミニウム製ハウジング内のコントローラで構成されています。コントローラには能動温度制御機能が搭載されています。この機能は周囲温度の変化で補正されるため、比類ない温度安定性が得られます。干渉計の堅固なフォームファクタのおかげで、工業環境にも組み込むことができます。さらに最大10 mのケーブル長さによって、コントローラとセンサを空間的に隔てることができます。クリーンルームや真空空間での測定タスクに対応し、真空環境に適したセンサ、ケーブルおよびケーブルダクトが搭載されています。
極小の細部や構造を測定するための小さな光点
センサは、測定範囲全体にわたって小さな光点を形成します。光点の直径はわずか10 µmで、半導体や小型電子機器部品の構造といった小さな細部も検知することができます。光点はパイロットレーザで可視化され、センサの位置調整を容易にします。
様々なデザインの新しいセンサモデル
要求の厳しい環境下で干渉計を組み込むため、様々なデザインと特性を持つ新しいセンサがご利用いただけます。IMP-DS0.5/90/VACもIMP-DS10/90/VACもビーム経路が90°なので、平らな設置スペースにも取り付けることができます。新しい小型センサIMP-DS1/VACは、マイクロエプシロンによる光学センサの中で最小クラスに数えられます。直径わずか4mmでケーブル内蔵なので非常に狭いスペースでも設置でき、センサとケーブルはクリーンルーム内でも真空中でも使用が可能です。
センサの位置決めを容易にする特許取得済みパイロットレーザー
白色光干渉計は、非可視領域の赤外光（波長約840nm）で動作するため、測定位置が目に見えません。この測定位置を可視化するため、マイクロエプシロンのシステムは測定位置に光点を投影するパイロットレーザーを搭載しました。さらにこのパイロットレーザーは、特許取得済みの方法により、測定位置に加えて距離のフィードバックも行います。測定対象物が正しい距離にあり、測定範囲内に存在する場合は、パイロットレーザーが点灯したままになり、測定対象物が測定範囲外に存在する場合は、パイロットレーザーが点滅します。
センサーアライメント用の調整可能マウントアダプター
最高の精度を得るには、干渉計をターゲットに対して可能な限り直交するように配置する必要があります。このマウントアダプターは調整が可能なので、センサを測定対象物に対して最適にアラインメントでき、機械に取り付けた後のアライメント修正も行えます。産業用途向けのアダプタにより、センサをX、Y方向に移動させたり、ターゲットに対して傾けることができます。
NEW：両面厚さ測定用アジャスタブルマウントアダプター
2つのアジャスタブルマウントアダプターで構成されたJMA-Thicknessは、両面厚さ測定での測定点の位置合わせをサポートします。測定点の配置を完璧に一致（光軸1本分）させられるので、測定タイミングのずれを防止し、確実で高精度な測定結果を得ることができます。JMA-Thicknessは耐衝撃性、耐振動性に優れており、機械への組み込みも可能です。取り付けプレートが予め備わっていて、アライメントも済んでいることにより、設置も測定システムのセットアップも素早く簡単に行えます。
Webインターフェースを介した容易な操作
コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアを必要とすることなく、使いやすいWebインターフェースを介して実行されます。WebインターフェースはEthernet接続を介して呼び出され、平均化、測定レート、プリセットなどを素早く容易に設定することができます。
Interface and signal processing units
機械やシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラにはEthernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロンのインターフェースモジュールを使用すればPROFINETとEthernetIPも利用可能なので、この干渉計はあらゆる制御システムや生産プログラムに組み込むことができます。
Application
