静電容量式変位・距離・位置センサ
静電容量センサは非接触での変位、距離、位置測定を行うために設計されていますが、厚さ測定にも使用することができます。信号安定性と分解能が高いので、静電容量変位センサは研究所や工業分野での測定に用いられています。例えば製造分野でのモニタリングでは、静電容量センサはフィルムの厚さや接着を測定したり、機械内に取付けられた状態でパーツの移動距離やツールの位置を監視します。
モデル一覧
真空空間やクリーンルームでの使用
静電容量変位センサは真空空間やクリーンルームでよく使用されます。マイクロエプシロンの静電容量センサは、空中粒子の無い環境においてサブナノメートル領域でのソリューションを実現しています。真空空間での測定タスク向けに、マイクロエプシロンは適したセンサやケーブル、フィードスルーアクセサリをご提供しており、これらのセンサやケーブルは高レベルで無粒子なので、ISO1クラスのクリーンルームレベルまで使用することができます。
磁界での高い耐干渉性
マイクロエプシロンは、強い磁界のある環境向けのセンサとセンサケーブルをご提供しています。どちらもチタンやステンレススチールといった非磁性の物質で構成され、三軸構造で遮蔽されているので高い耐干渉性が実現されています。
極端な温度でも高精度
マイクロエプシロン社の静電容量式変位センサは、他の非接触式測定法と比較して、最高の測定精度と安定性で際立っています。測定対象物の熱による伝導率変化は測定に影響を及ぼさないため、温度変動が大きい場合でも測定値は安定しています。例えば、静電容量式変位センサは超伝導マグネットの距離測定に使用されます。温度安定性の高いセンサ構造によって、最高の測定値分解能を実現すると同時に -270℃までの周囲温度にも耐えることができます。
NEW：高い周囲温度下での精密測定
800°Cまでの高温測定には、新しいCSE HTセンサが使用されています。この高温センサはcapaNCDT 6228シリーズの高性能コントローラで動作します。
完全互換性が実現する世界最大の組み合わせ数
capaNCDTのセンサ、ケーブルおよびコントローラはどれも簡単かつ迅速に交換でき、その革新的なテクノロジーにより校正とリニアライズは必要ありません。capaNCDTのコンポーネントの交換や、測定範囲が異なるセンサ同士の交換も使用現場ですぐにできるので、静電容量式変位測定において世界最大の多様な組み合わせ数が実現されています。
OEMでの連続生産用カスタマイズセンサ
特殊な測定タスクにも対応できるように、マイクロエプシロン社では測定システムをお客様の基準に適応させており、例えばフォームファクタやケーブル長さ、測定範囲の変更、測定対象物の調整、コントローラ内蔵のセンサなどを承っております。センサの適応についての詳細はこちらをご覧ください。
静電容量式センサの機能原理と測定法
静電容量式センサの機能原理は、静電容量変化の検出に基づいています。平板コンデンサでは、距離の変化または測定ギャップへの誘導体の挿入によって、一定サイズの2枚のプレート間で静電容量が変化します。静電容量測定法では、センサ（測定電極）と導電測定対象物が理想的な平形コンデンサのような役割を果たします。一定周波数の交流がセンサコンデンサ内を流れると、センサの交流電圧の振幅は測定対象物（接地電極）の距離に比例します。一定の測定結果を得るためには、センサと測定対象物間の誘電率が一定である必要があります。
三軸構造による安定した測定
ガードリングコンデンサとしてのcapaNCDTセンサの構造によって、実際面でもほぼ理想的な線形性特性が得られます。マイクロエプシロン社の静電容量センサは、一定の距離で測定ギャップ内の媒体を検出したり、あるいは一定の媒体または誘導体で導電測定対象物との距離を測定するために、工業分野の測定タスクで使用されます。
操作が簡単かつ世界最新のコントローラテクノロジー
新しいcapaNCDTコントローラには、アナログやEthernet、EtherCATといった様々なインターフェースが備わっています。静電容量測定システムの設定は、Ethernetインターフェースでパソコンををコントローラと接続して行います。ウェブブラウザで表示されるウェブインターフェースを使うので、簡単で快適です。設定やフィルタ、演算機能はすべて直接コントローラ内に保存されます。
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