半導体産業向け高精度センサソリューション

半導体産業の生産設備では、品質や経済効率性に対する要求の高まりに対応するために、最新のセンサを装備する必要があります。その際には、微細な動きを正確に検出し、最小限の公差逸脱を確実に検知し、物理的な実現性の限界にあるプロセスを監視する必要があります。Micro-Epsilonのセンサ技術は、半導体産業において長年にわたりその実力を実証し続け、複雑な前工程、後工程、ウェーハ二次加工オートメーションなど、数多くの測定タスクに対して常に適したソリューションを提供しております。

Micro-Epsilon製品をお勧めする理由

「Made in Germany」のMore Precisionとイノベーション
コンサルティングから開発、生産までお任せください
お客様との協力によって：量産とOEMにおける品質およびソリューションに関する専門知識
半導体製造分野での技術とアプリケーションに関する深い知識

ダイナミックな機械の監視と制御に対応した精密センサ

Micro-Epsilonの最適化されたセンサは、精確な測定向けに半導体機器の製造に活用されています。これらのセンサは高加速度、強磁場、超真空などの用途に使用されます。センサは最高の品質要件を満たしており、フォトマスクやレンズシステムの位置調整、ウェーハハンドリング時の位置決め、ミラーや光学素子の正しい位置などを監視します。

Use for precise measurements in semiconductor machine construction

Konfokal-chromatische Sensoren — 高分解能測定のための色共焦点センサ

White light interferometers — 絶対距離測定のための白色光干渉計

High-resolution, robust eddy current sensors — 堅牢な高分解能渦電流式変位センサ

Capacitive sensors — ナノメートル精度の静電容量式変位センサ

3D deflectometry sensors — ウェーハ検査のための3D偏向計センサ

Monitoring optical systems — 波面センサによる光学系のモニタリング

High-performance color sensors — 高性能カラーセンサ

Optical micrometers — 高精度のエッジテストを可能にする光式マイクロメータ

半導体産業向けセンサソリューション

当社は、半導体製造のさまざまなプロセス工程で使用される高精度なセンサおよび計測機器の包括的なポートフォリオを提供いたします。また、量産用途にはカスタマイズされたセンサおよびアクチュエータのソリューションを開発・製造いたします。当社は、過酷な環境下でセンサをご使用いただくお客様のための製造方法と、製造能力を備えています。