半導体産業向け高精度センサソリューション

半導体産業の生産設備では、品質や経済効率性に対する要求の高まりに対応するために、最新のセンサを装備する必要があります。その際には、微細な動きを正確に検出し、最小限の公差逸脱を確実に検知し、物理的な実現性の限界にあるプロセスを監視する必要があります。Micro-Epsilonのセンサ技術は、半導体産業において長年にわたりその実力を実証し続け、複雑な前工程、後工程、ウェーハ二次加工オートメーションなど、数多くの測定タスクに対して常に適したソリューションを提供しております。