サブナノメートル分解能の絶対距離測定のための白色光干渉計

IMS5600-DSは、高精度な変位・距離測定に使用されます。このシステムは絶対測定値を提供するため、段付きプロファイルの距離測定にも使用できます。絶対測定により、高い信号安定性で段差のスキャンを行います。そのため、可動測定対象物を測定する際にヒール、段差、くぼみの高低差を確実に検知することができます。この測定システムは、サブナノメートルの分解能で測定範囲に関して長いオフセット距離も提供します。

IMS5600-DSシリーズの干渉計は、真空環境およびクリーンルーム内での測定タスクに使用することができます。このような環境で、この干渉計はナノメートル範囲の分解能に達します。マイクロエプシロン社は真空空間での測定タスクに適したセンサ、ケーブルおよびケーブルダクトを提供いたします。これらのセンサとケーブルは微粒子が極めて発生しにくく、UHVまでのクリーンルームで使用することができます。

干渉測定法によって、様々な表面を測定することが可能です。そのため反射する金属、プラスチック、ガラス上で高精度な距離測定を行うことができます。