高精度なセンサおよび測定システムをワンストップで提供

Micro-Epsilonの非接触式変位センサは厚さ測定で数多くの利点をお約束します。例えば静電容量式センサは、比較的大きな測定スポットを備え、不均一な構造を補正します。さらに、静電容量式センサは高温での使用も可能です。内蔵された温度補正機構によって、センサはサブマイクロメートル領域で安定した測定が可能であり、ドライプロセスでの用途にも対応しています。

光学式厚み測定では、色共焦点センサや白色光干渉計の電池箔のインライン厚み測定での性能が実証されています。通常、ウェットコーティング工程の監視と制御に使用されるこれらのセンサは、ドライプロセスにも適しています。

測定対象物やコーティングの種類（コーティング/非コーティング）により、お客様の測定タスクに最適なセンサを提供いたします。当社にご相談ください

Micro-Epsilonの3Dセンサは組立監視およびコーティング箔の3D検査のために使用されます。驚異的な精度を誇る3Dスナップショットセンサがストップ＆ゴー測定に使用される一方で、3Dレーザスキャナは連続したストリップ検査で使用されます。Micro-Epsilonの3Dセンサは高分解能によって安定した測定を実現し、剥離や内包物など、微細な形状の欠陥も検出することが可能です。ストリップ端部のモニタリングには、確実なプロセスでウェブガイドをチェックする光式マイクロメータが使用されます。

帯状材料上のインライン厚み測定には、thicknessGAUGEセンサシステムが使用されます。精密な厚み測定には、センサタイプ、測定範囲、測定幅の異なる複数のモデルからお選びいただけます。これらのシステムは、二台の光学式または電磁式の距離センサを使用し、セル材料、フィルム、コーティングのストリップ厚さをマイクロメートルの精度で検出します。