導電性フィルムの高精度な厚さ測定
静電容量式厚さ測定システムTFG6220は、バッテリーフィルムなどの導電性フィルムの厚さを最高精度で測定します。
真空装置が測定対象物を吸引して平滑化することで、しわのない最適な状態にフィルムをセットするので、
可能な限り高精度での測定が実現されています。TFG6220はオフラインのランダムサンプルの品質検査に使用されており、
組み立て済みなのですぐに使用を開始できます。
精密な点検による確かな品質
TFG6220は、センサを含む測定ブラケットとcapaNCDTコントローラで構成されています。厚さは2つの静電容量式センサのオフセットにより算出され、測定対象物の自動平滑化が外部接続の真空装置によって行われることにより、マイクロメートル精度での測定結果が得られます。
測定ブラケット上部に常設された静電容量式センサ（1）が測定対象物（2）までの距離を測定し、測定インサート（3）が被測定物の真空吸引とクランプを行います。下部領域（4）の静電容量式センサは測定インサート上で測定し、接触面の機械的オフセットを補正します。