新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。
高性能3Dスナップショットセンサ surfaceCONTROL 3D 3200 は、拡散反射表面でのジオメトリ、形状、表面検査を行う自動インライン3D測定を行う産業アプリケーションに最適です。 コンパクトなフォームファクタでありながら、高い測定精度と同時に高速なデータ処理を実現しているのが特徴です。Z軸方向の反復精度が最大0.6 µmと非常に高いので、精密な3D測定や検査の作業に理想的です。様々な測定領域を2つの異なる測定範囲でカバーしています。
高精度3DスナップショットセンサsurfaceCONTROL 3D 3500は、乱反射する表面のジオメトリ・形状・表面を自動で光学検査するためのセンサです。コンパクトなフォームファクタと高い測定精度に加え、高速なデータ処理が特長です。z軸方向の反復性が最大0.4 µmという、高精度インライン3D測定技術の新しい基準を打ち立てており、平面度や高さのわずかな偏差も確実に検出することができます。2つのモデルで異なる測定分野をカバーしています。
新しいcapaNCDT 6228静電容量式センサシステムは、周囲温度+800 °Cまでの測定タスク用に設計されています。この高性能コントローラにはCSE/HTシリーズのセンサを最大4つまで同時に接続でき、内蔵の高温センサケーブルが電界や磁界による干渉を補正します。測定データはEthernetやEtherCATといった最新のインターフェースを介してアナログとデジタルの両方で出力されます。
