変位・距離・位置センサ

マイクロエプシロン社の渦電流センサは、変位や距離、ずれ、位置の測定だけでなく、振動も非接触で測定できるように設計されています。圧力、汚れ、温度による厳しい工業環境下で高い精度が要求される場面に渦電流式センサは非常に適しています。

マイクロエプシロン社の静電容量センサは、あらゆる導電性測定対象物の非接触かつ高精度な変位、距離、位置測定用に設計されています。

optoNCDTセンサは、産業分野におけるレーザー変位測定とって画期的と呼べるセンサです。変位測定でも距離測定でも、厚さ測定であっても、マイクロエプシロン社のレーザーセンサはこのクラスのセンサで最高のものに数えられます。工場オートメーションの測定やモニタリングタスク、エレクトロニクス製造、ロボット工学や自動車工学などへの投入が可能です。

confocalDTセンサシリーズの特徴は、共焦点式測定機器における最高の精度とダイナミクスです。このセンサは、距離測定や透明なターゲットの厚み測定でも高精度・高速で測定を行うことが可能です。先進的なコントローラ／センサ技術は、あらゆる表面で高度な信号安定性を提供します。パワフルなセンサポートフォリオによって、板ガラス製造、測定機、半導体機械製造など、多様な測定タスクの解決を実現します。 

マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てました。

測定範囲とベース距離が比較的大きく、サブナノメートルの分解能で安定した測定結果を可能にするセンサを備えています。干渉計には高精度での産業用途向け距離測定用のIMS5400-DS、精密な厚さ測定用のIMS5400-TH、真空対応でピコメータ分解能を持つ距離測定用のIMS5600-DSの4つのシリーズがあります。

ウェーハの厚さ測定にはIMS5420-THが使用されています。

optoNCDT ILRシリーズのレーザー距離センサは、非接触での距離測定用に設計されています。小型高速センサは最大距離10 m、レーザー距離センサでは最大距離3000 mの測定が可能です。このセンサは、機械やプラント製造ならびにコンベア技術での位置決めや仕分け、分類に使用されます。

マイクロエプシロン社は簡素なLVDTセンサだけでなく、エレクトロニクス内蔵インダクティブセンサやお客様ごとのカスタマイズ仕様に至るまで、変位・位置測定用インダクティブセンサの幅広い製品プログラムをご提供しております。induSENSORシリーズの変位センサが使用される分野はオートメーション、品質チェック、テストリグ、油圧、空圧シリンダー、自動車技術などです。

mainSENSORは、インダクティブセンサの利点と磁気センサの利点を組み合わせた新しい測定原則に基づいています。磁気誘導センサは、プロセスオートメーションや包装産業、機械モニタリングにおいてインダクティブセンサや近接スイッチの代わりに使用されることがよくあります。

wireSENSORシリーズのワイヤセンサは、測定範囲全体にわたりほぼ直線性で測定でき、50 mm～50,000 mmで距離測定や位置測定に使用されます。マイクロエプシロン社のワイヤセンサは統合にも後付けにも適しており、医療機器やエレベーター、コンベア、車両技術といった分野での連続生産におけるOEMアプリケーションに理想的です。