高精度なインラインウェーハ厚さ検査のための白色光干渉計
IMS5420 は、単結晶シリコンウェーハの非接触式厚さ測定に対応した高性能な白色光干渉計です。コントローラには、波長範囲が1,100 nmの広帯域スーパールミネッセントダイオード (SLED) が搭載されています。そのため、わずか1台の測定システムで、未ドープ/ドープ/高ドープのSiウェーハの厚さ測定を行うことができます。IMS5420は1 nm未満の信号安定性を実現します。その際に、厚さを24 mmの距離から測定することができます。
機械およびシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラには、Ethernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロン社のインターフェースモジュールによって、PROFINETと EthernetIPを利用することができます。そのため、干渉計をすべての制御システムと生産プログラムに組み込むことができます。





