高速での測定を行う高輝度コントローラ
共焦点コントローラconfocalDT 2465と2466は、高速かつ高精度な距離・厚さ測定に使用され、ナノメートル領域での分解能を実現しています。マルチピークモデルでは最大5層の透明な膜厚を同時に測定することができます。このコントローラは高い光強度と最大30 kHzの高速測定が特長で、暗い表面や粗い表面でも高い信号強度を得られます。また高速な露出制御により、表面の変化にも極めて優れた補正を行います。
このコントローラには、シングルチャネルモデル(IFC2465)またはデュアルチャネルモデル(IFC2466)があり、IFSシリーズのすべてのセンサと互換性を持つため、多くの測定タスクを確実に解決することができます。