共焦点ラインスキャナconfocalLINE CLI8500により、Micro-Epsilonは3D測定技術の新たな時代を切り拓きます。コンパクトなシステムに最高精度、極めて高い点密度、優れたダイナミクスを兼ね備えています。1プロファイルあたり2,624測定点と0.2 µmのZ分解能により、confocalLINE CLI8500は微細な構造も高い信頼性で詳細に検出します。大きな傾斜角に対応しているため、複雑な形状や測定が難しい表面にも用途が広がります。
測定が難しい表面にも新たな可能性を
共焦点色収差測定原理により、マット、高反射、透明な表面などあらゆる表面で高精度な測定が可能です。焦点が合った波長のみを評価するため、測定結果は材質の色や表面状態の影響をほとんど受けません。これによりconfocalLINE CLI8500は、半導体産業、電子機器・バッテリー生産から機械製造、医療技術分野まで、幅広い用途で活用できます。つまり、この新しいセンサシリーズは、最高水準の精度と現代の産業用3D測定技術に求められる速度・柔軟性を兼ね備えています。
コンパクトな設計とインテリジェントな統合
confocalLINE CLI8500は、クラス最小の共焦点ラインセンサでありながら、7 mmの広い測定範囲を実現しています。データ処理はセンサ内で直接行われるため、システム構成の複雑さとデータ負荷を低減できます。SMARTモードでは測定プログラムをセンサ内に直接保存して自律的に実行できるため、外部の評価用コンピュータを介さず最終的な測定結果を出力できます。PROFINET、EtherCAT、EtherNet/IP、GenICam、GigE Visionなどのインターフェースに対応しており、オートメーションシステムや画像処理システムへ柔軟に統合できます。
高ダイナミクスで最高レベルの精度
0.2 µmのZ分解能により、confocalLINE CLI8500は微細な構造、細いエッジ、極小の段差も確実に捉えます。同時に、有効測定範囲全域にわたり最大2 kHzの測定レートを実現しています。また、ライン方向に最大±80°という大きな傾斜角に対応しているため、傾斜面や複雑な形状の部品でも安定した測定が可能です。