反射率の高い表面を高精度に検査・測定

測定対象物に対して、所定の縞状パターンを非接触で照射します。反射率の高い表面で反射されたパターンを2台のカメラで撮像し、縞のごくわずかな変化や変形まで検出します。

センサが撮像した画像シーケンスから高解像度の2D位相画像を生成します。これにより、表面欠陥を確実に検出・評価できます。3D測定に対応したreflectCONTROLモデルでは、位相情報を用いて3次元点群や表面トポグラフィも算出されます。

センサモデルに応じて、測定データを自動欠陥検出、表面検査、3D形状測定のためにさらに処理できます。

Micro-Epsilonのデフレクトメトリセンサは、鏡面および反射面の高精度な検査に使用されます。微小な形状偏差、うねり、局所的な表面欠陥を、高分解能かつ非接触で捉えます。代表的な用途には、半導体産業、光学部品、ガラス表面、ディスプレイ、塗装や研磨が施された部品などが挙げられます。

このセンサは個々の部品の品質検査だけでなく、生産工程での自動インライン検査にも対応します。これにより欠陥を早期に発見し、不良品数や手直し工数を削減するとともに、安定した高品質を確保できます。