直径300 mmまでのウェハの全面反り・平面度測定用3Dセンサ
reflectCONTROL RCS3500-300センサは、直径300 mmまでのウェハを高速で3D測定できます。1回の撮像でウェハ表面全体を取得し、反り、湾曲、局所的な変形を高精度に検査します。これにより、後工程に影響が及ぶ前に偏差を早期に検出できます。短い測定時間により、高い生産スループットを維持しながら効率的に品質を監視でき、工程の安全性向上、不良品数の削減、二次コストの低減につながります。
大型ウェハ表面の全面3Dデフレクトメトリ測定
作動距離370 mmで測定範囲の直径が300 mmあるため、直径300 mmまでのウェハ全面を1回の撮像で測定できます。そのため、機械的な走査や複数の部分測定のスティッチングを行わずに、一貫性のある3Dデータセットが生成されます。
短い測定時間で高い処理速度を実現
reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpageセンサは、短時間で高精度な3Dデータを取得します。最短1秒の撮像時間によりウェハの停止時間を短縮し、自動化工程での高速検査を支援します。
高速処理により、算出された測定値、特徴、または合否判定が迅速に提供されます。これにより、品質判定を生産工程に直接フィードバックできるため、インライン検査、サイクルタイムの短縮、ロボット支援アプリケーションに最適です。反り、湾曲、平面度、局所的なたわみを迅速かつ確実に評価します。
応用分野
