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confocalLINE


3D計測の新たな基準 - 高精度かつ高速

微細なディテールや高低差を認識する最高の分解能

プロファイルおよび3D点群のSMART評価

高精度・高速3Dスキャン向けの共焦点式ラインセンサ

新しいconfocalLINEセンサは、最高の点密度と高速・高精度なスキャンを可能にします。多種多様な表面を確実に測定し、半導体製造、電子機器製造、精密機械製造における高度な測定タスクのために正確な3Dデータを提供します。内蔵されたSMART評価機能と最新のフィールドバスインターフェースにより、複雑な測定・検査タスクをセンサ内で直接処理できます - 高速・安定・高精度に。

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特徴

  1. 2,624点/プロファイルによる高精度スキャン
  2. 多様な表面で非常に高い信号安定性を発揮
  3. 微細なディテールを確実に認識するマイクロメートル精度
  4. データ評価機能が内蔵されたコンパクトなセンサ設計
  5. 2Dプロファイル測定と3D形状測定
  6. 測定データをフィールドバスおよびModbus (UDP/TCP) 経由で直接出力
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Micro-Epsilon Japan株式会社
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広い測定範囲と最高の点密度

色共焦点式ラインスキャナは、X軸方向において7 mmのライン長でプロファイルを取得します。プロファイルあたり2,624の測定点により、高分解能の2Dプロファイルデータと高精度な3D点群が生成されます。信頼性が高く、表面特性にほぼ依存しません。ライン状の計測により、従来の点センサ方式に比べ、完全なスキャンを大幅に高速生成できます。

細部に至るまで最高精度

2.7 µmの方位分解能と200 nmのZ方向分解能により、confocalLINEは微細な構造や高低差を最高精度で捉えます。高い精度により、極小の測定対象物でも確実に検出して評価できます。最高レベルの精度要件が求められる測定タスクに最適です。

クラス最小のスキャナ:SMART評価機能が内蔵された小型設計

confocalLINE CLI8500 は、そのコンパクトな設計により新たな基準を打ち立てます。このセンサは外部コントローラもIPCも不要なため、取付けスペースが限られる場合でも、制御盤なしで容易に統合できます。SMART仕様では、測定プログラムがセンサ内で直接実行され、測定結果が制御装置へ出力されます。

高精度な測定を実現する革新的技術

confocalLINEセンサは、色共焦点式測定原理を採用しており、白色光は特殊な光学系によりスペクトル色に分解され、測定対象物に線状に投影されます。その際に、スペクトルの各波長は所定の距離に対応しています。センサは反射光から各測定点について表面までの距離を算出します。ラインあたり2,624の測定点により、高分解能の高さプロファイルが得られます。プロファイルを連結することで3D点群が生成されます。これにより、表面トポグラフィ、エッジ、段差、すき間を最高の精度と測定速度で取得し、センサ内で直接評価できます。透明材料および半透明材料では、複数の界面を検出し、その結果から材料厚みなどを算出することも可能です。

パラメータ設定とアプリケーションソリューションのためのパワフルなソフトウェア

3DInspectソフトウェアはパラメータ設定を容易にし、2Dおよび3D測定プログラムの快適な作成を実現します。直感的なユーザーインターフェースにより、測定プロセスを迅速かつ効率的に設定することが可能です。作成された測定プログラムは、内蔵されたオートメーションインターフェース経由で、SMART操作のためにスキャナ本体に直接保存されます。これによって、追加の制御装置なしで自動的に測定を行うことができます。

センサの容易なパラメータ設定

  • 点群のアライメントとフィルタリング
  • 関連領域の直感的な認識と選択
  • Valid3D:2.5D評価ではなくリアルな3D点群

自律的なSMART操作のための高性能なプログラム

  • 希望する測定値を計算するための80種類以上の測定プログラム
  • 複雑な測定タスクに対応した複数プログラムの組み合わせ
  • 自律的なSMART操作のために測定プログラムをスキャナへ転送可能

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容易な統合を可能にする多数のインターフェース

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