Micro-Epsilonの革新的なinterferoMETERシリーズの白色光干渉計は、非接触かつ絶対値による高精度な距離測定を実現します。新しいIMP DS35/VACにより、超高真空領域までの真空環境に特化したモデルが製品ラインアップに加わりました。約35 mmの大きなワーキングディスタンスと1 nm未満の分解能を両立し、高い精度、プロセスの安定性、そして機器への組み込みやすさが求められるような要求の厳しい測定用途に最適です。
大きなワーキングディスタンスが新たな用途を切り拓く
IMP DS35/VACは、ワーキングディスタンス約35 mmから2.1 mmの測定範囲を備えています。これにより、ガラスウェハ製造における位置監視やコーティングされたウェハの測定など、十分な距離を確保しながら高精度な距離測定が可能です。大きなワーキングディスタンスは、奥まった場所やアクセスしにくい測定箇所にも有利です。わずか15 µmの光スポット径で微細構造も確実に検出でき、±1°の測定角度特性により難しい設置条件でも安定した測定結果が得られます。
高性能コントローラとの組み合わせによる高精度
IMP DS35/VACは堅牢なステンレス製ハウジングを備え、超高真空（UHV）を含む真空環境での使用を想定して設計されています。本センサは、IMS5400およびIMS5400MPコントローラに対応しており、1 nm未満の分解能と±50 nm未満の直線性を実現します。これにより、最新の製造・検査工程での高精度な距離測定に最適です。さらにIMS5400MPを使用すれば、最大13層に対するマルチピーク距離測定も可能です。透明材料、コーティング材料、多層材料の解析において、新たな可能性が広がります。