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interferoMETER:特殊な要件に対応するパワフルなセンサ

interferoMETER シリーズにより、マイクロエプシロンは産業用距離・厚さ測定に革新的かつ最高精度の白色光干渉計をご提供します。レーザー干渉計とは対照的に、信号ジャンプがあっても絶対距離の測定が可能です。分解能はピコメートルのレンジにまで達し、特殊な環境下でも高性能な測定が行える3種類の新しいセンサをご用意しています。

interferoMETER IMP-DS0,5/90/VAC

  • 小さな設置スペース用距離センサ
  • 測定範囲 1.5 mm
  • 直線性 ±10 nm(コントローラーにより異なる)
  • ラジアルビーム出口
  • 超高真空まで対応の真空アプリケーション用設計

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

  • 温度安定性が最高精度のセンサ
  • 測定範囲 2.1 mm
  • 直線性 ±10nm(コントローラーにより異なる)
  • センサ素材はインバー製
  • 超高真空まで対応の真空アプリケーション用設計

interferoMETER IMP-DS1/VAC

  • 小型距離センサ ø4 mm
  • 測定範囲 1.1 mm
  • 直線性 ±10 nm(コントローラーにより異なる)
  • ケーブル一体型で設置が簡単
  • 超高真空までの真空アプリケーション用設計