特殊センサ / 真空 IFS2406
鏡面や透明な表面での距離測定だけでなく、透明なフィルムやプレートあるいは層での片側からの厚さ測定にも使用することができます。さらに、IFS2406-2.5モデルではセンサ構造が真空内での使用に適しており、軸方向タイプと90°側視方向タイプがあるので、使用方法も非常に多種多様です。