変位・距離・位置センサ

マイクロエプシロン社の渦電流センサは、変位や距離、ずれ、位置の測定だけでなく、振動も非接触で測定できるように設計されています。圧力、汚れ、温度による厳しい工業環境下で高い精度が要求される場面に渦電流式センサは非常に適しています。

マイクロエプシロン社の静電容量センサは、あらゆる導電性測定対象物の非接触かつ高精度な変位、距離、位置測定用に設計されています。

optoNCDTレーザセンサは、工業分野におけるレーザ変位測定において数々のマイルストーンとなってきました。変位測定や距離測定、あるいは厚み測定であっても、Micro-Epsilonのレーザセンサはクラス最高レベルの性能を誇ります。これらのセンサは、ファクトリオートメーション、電子機器製造、ロボット工学、自動車製造の測定・監視タスクなどに使用されています。

最小の空間で最高の精度。要件の厳しい測定タスクに理想的。量産用途やOEM用途向けに最適。

confocalDT センサシリーズの特徴は、共焦点式測定技術における最高の精度とダイナミクスです。これらのセンサは、距離測定でも透明なターゲットの厚さ測定でも、高精度かつ高速で測定を行います。革新的なコントローラとセンサ技術があらゆる表面で高度な信号安定性が確保し、高性能なセンサのラインナップがフロートガラス製造、測定機器、半導体製造機器など、多様な測定タスクのソリューションを実現します。

最高精度と多様な応用可能性を備えた、シリーズ生産やOEM向けの厳しい測定タスクに最適なセンサです。

Micro-Epsilonの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚み測定におけるベンチマークを打ち立てました。絶対干渉計はサブナノメートルの分解能で安定した測定結果を提供し、比較的大きな測定範囲とオフセットを備えています。この干渉計は、透明な物体やウェーハの絶対距離測定と厚み測定に使用されます。

工業や半導体機械製造の用途に対応した最高レベルの測定精度に、きっとご満足いただけます。

optoNCDT ILRシリーズのレーザー距離センサは、非接触での距離測定用に設計されています。小型高速センサは最大距離10 m、レーザー距離センサでは最大距離3000 mの測定が可能です。このセンサは、機械やプラント製造ならびにコンベア技術での位置決めや仕分け、分類に使用されます。

マイクロエプシロン社は簡素なLVDTセンサだけでなく、エレクトロニクス内蔵インダクティブセンサやお客様ごとのカスタマイズ仕様に至るまで、変位・位置測定用インダクティブセンサの幅広い製品プログラムをご提供しております。induSENSORシリーズの変位センサが使用される分野はオートメーション、品質チェック、テストリグ、油圧、空圧シリンダー、自動車技術などです。

mainSENSORは、インダクティブセンサの利点と磁気センサの利点を組み合わせた新しい測定原則に基づいています。磁気誘導センサは、プロセスオートメーションや包装産業、機械モニタリングにおいてインダクティブセンサや近接スイッチの代わりに使用されることがよくあります。

wireSENSORシリーズのワイヤセンサは、測定範囲全体にわたりほぼ直線性で測定でき、50 mm～50,000 mmで距離測定や位置測定に使用されます。マイクロエプシロン社のワイヤセンサは統合にも後付けにも適しており、医療機器やエレベーター、コンベア、車両技術といった分野での連続生産におけるOEMアプリケーションに理想的です。