新型非接触赤外線放射温度センサのthermoMETER UC, SE, およびFIは、産業プロセスにおいて高精度で安定した温度測定を行うために開発されました。優れた温度補正と信号品質、OEM量産用途に最適なカスタマイズ性、そして最高レベルの性能と信頼性を提供します。

Micro-Epsilonの新しい共焦点式センサconfocalDT IFS2407-6は、半導体製造や電池箔生産などの産業用測定タスクにおいて高精度な距離測定を実現します。広い測定範囲、±1マイクロメートル未満の高い直線性、そして非常に強い光強度により、これまで測定が困難だった表面も確実に、素早く、高精度に検出します。
新しい白色光干渉計であるinterferoMETER IMS5200-26THシリーズは、1~100マイクロメートルのフィルムやガラスなど透明な層の厚みをナノメートルの精度で測定することができます。最大24 kHzの測定レートを誇る新しい白色光干渉計は、真空中で使用できますので半導体の製造やコーティングプロセスにおける動的な測定タスクに適しています。