三角測量レーザー式センサoptoNCDT 1900シリーズは、コントローラ内蔵かつコンパクトなサイズながら、オートメーションプロセスで変位、距離、位置の測定をダイナミックに行います。

共焦点式変位センサシステムconfocalDT IFD241xシリーズは、一般的な産業用イーサネットに対応しており、高精度が要求される精密オートメーションにおける多くのアプリケーションにおいてご使用いただけます。また、このコンパクトなセンサシステムは、直感的かつユーザーフレンドリーなウェブインターフェースにより操作も簡単です。

IMS5420-THは、半導体製造工程における単結晶シリコンウェーハの厚さ測定を新たな視点で切り開きます。広帯域スーパールミネッセントダイオード(SLED)の採用により、アンドープ、ドープおよびハイドープシリコンウェハの厚さ測定が可能になりました。0.05 ~ 1.05 mmまでのシリコンウェーハの厚さ測定に対応でき、エアギャップにおいては4 mmまでの測定を実現しました。