Micro-EpsilonのoptoNCDT 5500が、大幅な性能向上を遂げました。測定範囲全域にわたって150 kHzの測定レートを実現し、同クラス最速のレーザー変位計センサとなっています。同時に、最高レベルの精度と最大200,000 lxの外乱光耐性を備え、同クラス最高水準を達成しています。

Micro-EpsilonのprofileGAUGE X.LP-3Dは、プロファイルや半製品の高精度なインライン検査を実現する高性能センサシステムです。4台のscanCONTROL光切断レーザースキャナが複数の方向から測定対象を同時に捉え、稼働中の生産プロセスで360 °の評価が確実に行えます。

Micro-Epsilonは、絶対値距離を測定する白色干渉計の製品ラインアップに、大きなワーキングディスタンスを備えた新しいinterferoMETER IMP DS35/VACを追加しました。ナノメートル分解能の非接触距離測定が可能となり、半導体やガラスウェハ製造といった高精度が求められる用途において新たな可能性を切り拓きます。

新しい高精度共焦点ラインスキャナconfocalLINE CLI8500は、共焦点センサの利点とインテリジェントな3Dスキャン技術を組み合わせています。高精度、高ダイナミクス、さらにセンサ内で直接行うSMART 3D評価により、confocalLINEセンサは産業用3D計測技術に新たな基準を打ち立てま