Micro-EpsilonのcapaNCDTシリーズは、世界最新の静電容量式センサ製品ポートフォリオを提供します。これらのセンサは、50µmから10mmまでの測定範囲で、工業環境における変位、距離、位置を測定します。最大0.03nmの分解能と0.1µmの直線性という高精度に加え、コントローラ、センサ、ケーブルの組み合わせバリエーションが豊富で柔軟性も特徴的です。

新世代のsurfaceCONTROL 3Dスナップショットセンサが、新しいレベルの3D表面測定技術を実現します。これらのセンサでは、0.25µmという最高のZ軸精度だけでなく、最大8µmという優れたXY分解能も実現しています。その結果、以前よりもさらに細かいディテールを認識し、より正確な測定を行うことができるようになりました。

Micro-Epsilon社の高速ステアリングミラー (FSM) は、レーザ光を正確に偏向させるために使用される超小型チルトミラーです。FSM3000 チルトミラーシステムは、最高の精度と最大限のダイナミクスを兼ね備えています。組み込みが容易で、非常に堅牢であり、工業、光学、航空宇宙、防衛分野での用途に適しています。

新製品のeddyNCDT 3020は、工業用途において高速かつ高精度で変位・距離・位置を測定するためのコンパクトで高性能な渦電流式測定システムです。高性能なコントローラは分解能が高く、急激な距離変化を高精度で測定します。