距離・粗さ・厚さ測定のための高精度共焦点センサ
共焦点クロマティックセンサconfocalDT IFS2407は、高精度で距離・粗さ・厚さ測定を行うために設計されました。このセンサは高い開口数と小さな光スポット径を備え、測定角度も大きいので粗さの測定にも使用することができるだけでなく、ナノメートル単位の精度も正確に測定することができます。
高温センサ confocalDT IFS2407-xHT
- 周囲温度200 °C までの信頼性の高い測定
- 測定範囲（'mm）：0.8 | 2 | 4
- 温度範囲：最大 200 °C
- 直線性：最大 < ±0.18 µm
- 分解能：最大 < 6 nm
- ステンレススチール製ハウジング 1.4404
- UHV まで真空対応
- 90° 仕様
confocalDT IFS2407-0,1
- 測定範囲（mm）：0.1
- 直線性：最大0.05µm
- 分解能：最大3nm
- 距離測定や粗さ測定に理想的
- 高速プロセス向けに光度が強めの仕様もご用意（NA0.7）
- 3µmの小さな測定点
- 高い感度と大きい傾斜角
- 透明な測定対象物での厚さ測定は5µmから可能
confocalDT IFS2407-0,8
- 測定範囲（mm）：0.8
- 直線性：最大0.2µm
- 分解能：最大24nm
- 小さな光点
- 省スペースのセンサ構造
- 曲面でも正確な距離測定が可能
- 薄い層の厚さ測定に最適
confocalDT IFS2407-1,5
- 測定範囲（mm）：1.5
- 5.5 μmの非常に小さな測定スポット
- 測定角度 >± 43°
- 光集約設計（NA >0.7）
- 曲面や鏡面での高精度測定
- 構造表面での安定した測定
confocalDT IFS2407-3
- 測定範囲（mm）：3
- 直線性：最大0.5µm
- 分解能：最大13nm
- 約28mmの長いオフセット距離
- 最大±30°の傾斜角
- 曲率の大きい表面や鏡面反射表面での測定に理想的
confocalDT IFS2407-6
- 測定範囲（mm）：6
- 直線性：1 µm
- 分解能：最大15 nm
- 約32 mmの長いオフセット距離
- 困難な表面での高速かつ高精度な測定に理想的
- 暗い表面や反射の弱い表面でも高い光強度を実現
confocalDT IFS2407/90-0,3
- 測定範囲（mm）：0.3
- 直線性：最大0.15 µm
- 分解能：最大6nm
- 変位測定や表面粗さ測定に理想的
- 6µmの小さな測定点
- 高い感度と大きい傾斜角
