Micro-Epsilon社の高速ステアリングミラーは、レーザ光を高速かつ正確に偏向させるために使用されるマイクロメカトロニクスシステムです。搭載された超小型チルトミラーは、ダイナミクスと傾斜角の優れた組み合わせを実現しています。また、革新的なボイスコイル技術により、圧電制御システムに匹敵する2 kHzという驚異的な最大周波数を実現しながら、はるかに高い堅牢性を誇ります。同時に、±1.5°というミラーの広い可動範囲により、さらなる自由度が生まれ、高い精度を維持しながら柔軟に使用することが可能です。そのため、超小型チルトミラーは、航空宇宙、防衛分野、光学測定機器、工業分野における光通信やレーザ光の安定化に最適です。
機能原理とシステム構成
この動的なシステムは、高精度な渦電流式変位センサと、傾斜軸ごとに2つの電磁コイルから成るアクチュエータによって駆動する高平坦度ミラーを使用しています。高速ステアリングミラーは、2軸において極めて精確に制御することができます。中央の回転点によって、遊びや摩耗が生じない同期した動きが実現されます。FSM3000 高速ステアリングミラーシステムは堅牢性、小型設計、そしてわずか約55 gの軽量さで高い評価を得ています。ミラーは卓球ボールほどの大きさです。そのため、組み込みが容易であるだけでなく、極めて高い耐久性も備えています。衛星に搭載された高速ステアリングミラーシステムは、ロケット打ち上げ時の強い衝撃や振動にも難なく耐えられ、軌道上で極めて正確かつ確実に動作します。
様々な用途向けにカスタマイズ可能
Micro-Epsilon社は、FSM3000 シリーズで、標準ミラー (COTS) からお客様固有のカスタマイズ (MOTS)、OEM量産用途用の開発まで、幅広いポートフォリオを提供しています。例えば、チルトミラーのミラー直径、コーティング、あるいはセンサ電子機器を、各用途に合わせてカスタマイズすることができます。