半導体産業や光学産業、また航空･宇宙産業では、真空条件下での測定は日常的に行われますが、同時にセンサには最も高い要件が課せられます。そのためにMicro-Epsilonでは、カタログに掲載の標準センサと、過酷な条件下でも高い信頼性と精度で動作する専用に開発されたセンサの両方をご提供しています。最適な材料と最適な設計により、センサは真空中で直接動作するか、あるいは隔壁窓を通して外部からも測定が行えます。
用途に応じて、光学式、誘導式、静電容量式、または干渉式のセンサが使用されます。レーザセンサoptoNCDTシリーズは、レーザ溶接や3Dプリンタ積層造形などのプロセスにおける距離測定に最適です。ウェハやディスプレイの厚さをナノメートル精度で測定するには、共焦点式センサconfocalDTシリーズがお勧めです。絶対干渉計は、半導体製造などの分野で高精度な距離・厚み測定を実現します。渦電流原理に基づく誘導式センサinduSENSORシリーズ、静電容量式センサcapaNCDTシリーズ、そして磁気誘導式センサmainSENSORは、航空産業などの要求の厳しい真空用途向けにソリューションを提案します。
すべてのセンサは厳しい仕様に基づいて製造され、定期的に検査が行われます（TENAXサンプリングなど）。コンパクトなサイズ、一体型コントローラ、インテリジェントなインターフェースにより、迅速に設置でき、既存システムに柔軟に組み込むことができます。Micro-Epsilon は、あらゆる真空用途に適した測定機器を提供します。個別にカスタマイズされており、すぐに使用可能です。さらに詳しい情報やヒントについては、最新の業界別カタログをご覧ください。
真空中でも優れた測定を実現
