IMS5420-THは、半導体製造工程における単結晶シリコンウェーハの厚さ測定を新たな視点で切り開きます。広帯域スーパールミネッセントダイオード(SLED)の採用により、アンドープ、ドープおよびハイドープシリコンウェハの厚さ測定が可能になりました。0.05 ~ 1.05 mmまでのシリコンウェーハの厚さ測定に対応でき、エアギャップにおいては4 mmまでの測定を実現しました。

wireSENSOR MK88およびK100シリーズのドローワイヤーセンサは、さらに広い測定範囲を検出できるようになっただけでなく、CANopenインターフェースも装備しました。ドローワイヤ式変位センサは特に移動機械の分野で使用されており、新しいモデルが加わったことで測定技術に新たなアプリケーションの可能性が開かれました。価格性能比も大変優れているのでシリーズアプリケーションに最適です。

interferoMETER IMP-DS シリーズの3つの新しいセンサは、特殊な環境下での高精度な距離測定用に設計されています。 これらのセンサとそのケーブルはパーティクルフリーなので、クリーンルームや真空中でも使用できます。 サブナノメートル領域での測定が可能で、ボアや狭い設置スペースでの90°測定用、高い温度安定性を備えた超高真空用、直径わずか4mmの小型距離センサなど、さまざまなバージョンをご用意しています。