距離・粗さ・厚さ測定のための高精度共焦点センサ

共焦点クロマティックセンサconfocalDT IFS2407は、高精度で距離・粗さ・厚さ測定を行うために設計されました。このセンサは高い開口数と小さな光スポット径を備え、測定角度も大きいので粗さの測定にも使用することができるだけでなく、ナノメートル単位の精度も正確に測定することができます。

confocalDT IFS2407-0,1

• 測定範囲（mm）：0.1
• 直線性：最大0.05µm
• 分解能：最大3nm
• 距離測定や粗さ測定に理想的
• 高速プロセス向けに光度が強めの仕様もご用意（NA0.7）
• 3µmの小さな測定点
• 高い感度と大きい傾斜角
• 透明な測定対象物での厚さ測定は5µmから可能

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confocalDT IFS2407-0,8

• 測定範囲（mm）：0.8
• 直線性 最大 0.2 µm
• 分解能 最大 24 nm
• 小さな集光点
• 省スペースのセンサ設計
• 曲面上でも正確な距離を測定
• 薄い層の厚み測定に最適

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confocalDT IFS2407-3

• 測定範囲（mm）：3
• 直線性：最大0.75µm
• 分解能：最大20nm
• 約28mmの長いオフセット距離
• 最大±30°の傾斜角
• 曲率の大きい表面や鏡面反射表面での測定に理想的

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confocalDT IFS2407/90-0,3

• 測定範囲（mm）：0.3
• 直線性：最大0.75 µm
• 分解能：最大10nm
• 変位測定や表面粗さ測定に理想的
• 6µmの小さな測定点
• 高い感度と大きい傾斜角