特殊な要求に対応した距離と厚さ測定用共焦点センサ

鏡面や透明な表面での距離測定だけでなく、透明なフィルムやプレートあるいは層での片側からの厚さ測定にも使用することができます。さらに、IFS2406-2.5モデルではセンサ構造が真空内での使用に適しており、軸方向タイプと90°側視方向タイプがあるので、使用方法も非常に多種多様です。

confocalDT IFS2406

• 測定範囲（mm）2.5 // 3 // 10
• 直線性 最大0.75 µm
• 分解能 最大0.024 µm
• 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
• 小さな光点
• 真空内でも使用できるセンサ構造

---

confocalDT IFS2406-3/VAC(001)

• 測定範囲 (mm)：3
• 直線性 最大 1.5 µm
• 分解能 最大 0.05 µm
• 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
• 小さな光点
• 真空内でも使用できるセンサ構造