センサー技術で未来を切り開く

エンジニア、フランツ・フリッシェンによるマイクロイプシロンの設立

現本社オルテンブルクへの移転

初の渦電流式変位測定システムの開発

世界で最もコンパクトな渦電流センサーを発売

マイクロエプシロン社グループ設立

初のデジタル・レーザー式三角測量センサーを発表

ドローワイヤ式センサーの量産開始

厚さ測定システムの発売

2Dプロファイル レーザー式スキャナー発売

世界最小共焦点クロマチックセンサの発売

車体塗装欠陥測定3D検査システム

高精度センサーが宇宙望遠鏡ミラー位置の精密モニタリングに採用

世界初の青色レーザーセンサーの発売

高精度インライン測色システムの発売

マイクロエプシロンがツァイスSMTから「戦略的パートナー」に認定

工業計測用白色干渉計の発売

通信衛星用高速ステアリングミラーの供給開始

世界最大の地上反射望遠鏡ELTでは、ミラーセグメントの微調整にマイクロエプシロンのセンサーが採用されています

高精高精度センサーがナノメートル精度でモニタリング。半導体製造装置の高精度に貢献しています

ターンキーシステムは、コーティングされたバッテリーフィルムの厚さをリアルタイムで監視します。