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1968 エンジニア、フランツ・フリッシェンによるマイクロイプシロンの設立
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1975 現本社オルテンブルクへの移転
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1980 初の渦電流式変位測定システムの開発
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1988 世界で最もコンパクトな渦電流センサーを発売
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1991 マイクロエプシロン社グループ設立
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1992 初のデジタル・レーザー式三角測量センサーを発表
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1993 ドローワイヤ式センサーの量産開始
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1996 厚さ測定システムの発売
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2003 2Dプロファイル レーザー式スキャナー発売
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2006 世界最小共焦点クロマチックセンサの発売
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2007 車体塗装欠陥測定3D検査システム
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2008 高精度センサーが宇宙望遠鏡ミラー位置の精密モニタリングに採用
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2011 世界初の青色レーザーセンサーの発売
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2012 高精度インライン測色システムの発売
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2019 マイクロエプシロンがツァイスSMTから「戦略的パートナー」に認定
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2020 工業計測用白色干渉計の発売
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2023 通信衛星用高速ステアリングミラーの供給開始
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Today 世界最大の地上反射望遠鏡ELTでは、ミラーセグメントの微調整にマイクロエプシロンのセンサーが採用されています
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Today 高精高精度センサーがナノメートル精度でモニタリング。半導体製造装置の高精度に貢献しています
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Today ターンキーシステムは、コーティングされたバッテリーフィルムの厚さをリアルタイムで監視します。
