最高精度を実現する超小型静電容量センサ

2022-06-28

新しいcapaNCDT CSE01とCSE025センサにより、マイクロエプシロンの静電容量センサのポートフォリオがさらに拡大しました。CSE01は直径3mm、長さ15.6mmと世界最小クラスの3軸センサで、ケーブル内蔵で狭い設置スペースにも組み込むことができます。

マイクロエプシロンの静電容量式センサは、センサの寸法が小さく、距離・位置・厚さの測定において最高の精度を持つことが特長です。マイクロエプシロンは0.05～10mmの測定範囲で30種類以上の標準的な静電容量センサを取り揃え、幅広いポートフォリオをご提供しています。革新的なTriax技術により、追加の校正をすることなくセンサの交換が可能です。

この堅牢な静電容量式センサは、サブミクロンの精度が求められる産業環境でも、サブナノメートルの精度まで測定可能なクリーン環境でも使用されています。静電容量式センサは真空、クリーンルーム、磁場などの特殊な環境下でも極めて安定した信号が得られ、温度補償型センサは変動する高温の環境下でも最高の精度を実現します。