マルチピーク白色光干渉計が高精度な多層膜測定を実現

2022-05-19

マイクロエプシロンの白色光干渉計は、優れた精度と絶対測定値を特長としています。産業用デバイスとしての能力も備えたこの白色干渉計は、機械に組み込むためのインライン使用にも、実験室での使用にも適しており、ナノメートルの精度とピコメートルの分解能で距離と厚さを測定します。

新たに加わったマルチピーク仕様では、たった1回の測定で複数の透明な層を高精度に測定することが可能になりました。マルチピーク距離測定用（IMS5x00-DS/MP）と多層膜厚測定用（IMS5400-TH/MP）の2種類のコントローラモデルがあり、この2種類は、距離システムでは層の厚さをそれぞれの距離値から算出し、厚さシステムでは直接測定するという点で異っているので、アプリケーションに応じて様々なメリットを実感いただくことができます。

マルチピーク距離測定システムは、特に距離の測定と厚さの測定を同時に行わなければならないアライメントや位置決めのタスクに使用され、2.1mmの広い測定範囲において最小厚さ10μm（BK7）までの最大13層が検出可能です。その際精度に関しては約19mmと大きな距離から測定を行い、絶対測定式なので、段差やエッジなどで信号が途切れた後でもシステムのリファレンスは不要です。

多層膜厚測定システムは、最大5層までの距離に依存しない厚さ値が必要な場合に必ず使用されます。2.1mmの厚さ測定範囲では、35μm（BK7）までの単層を高いプロセス安定性で測定でき、ターゲットの距離変動は広い動作範囲によって補正されるため、振動や材料のそれ以外の動きが測定に影響を与えることはありません。また厚さ測定システムのもう1つのメリットは、大きなオフセットス距離です。測定はターゲットから最大70mmまで離れて行われるため、高いプロセス信頼性が保証できると同時に、センサを損傷から保護することができます。

どのシステムも、簡単にシステム設定が行える現代的で直感的なウェブインターフェースを備えているだけでなく、多様なインターフェース（EtherCAT、Ethernet、PROFINET、EtherNet/IP、RS422、アナログ）での数多くの統合オプションが可能です。この干渉計センサは産業での使用向けに高い保護等級IP65を備えており、オプションで真空対応システムもご用意しています。

白色光干渉計のメリット

• クラス最高の解像度 <30 pm
• ナノメートルの精度を実現する±10までの直線性
• 距離に依存しない厚さ測定
• 最小厚さそれぞれ10μmまでの最大13層の測定が可能
• プロセス安定性の高い測定結果を保証する堅牢なシステム
• 測定範囲2.1mmで測定対象物までの距離を大きく確保
• パイロットレーザーによる測定点の可視化と測定位置の光学的フィードバック