フロートガラスやフィルムの高精度な厚さ測定

2021-08-23

interferoMETER IMS5400-TH70に新開発のセンサIMP-TH70が加わりました。IMP-TH70は70mmという大きな動作距離を保証すると同時に、直径がわずか5μmの光点と±4.5°まで向上したチルト角が実現したことで、わずかな曲面や構造表面でも安定した測定が可能になりました。
ナノメートルレベルで厚さ測定を行う白色光干渉計IMS5400-THは、マイクロエプシロンによる最も精密な光学測定システムであり、その堅固な構造は製造ラインでの使用に非常に適しています。この革新的な白色光干渉計のシステムはどれも、さまざまな制御システムや生産プログラムに最適な形で統合できるように、幅広い接続オプションを備えており、それにはイーサネット/EtherCATなどのデジタルインターフェースだけでなくアナログ出力も含まれています。コントローラとセンサの設定はすべてWebインターフェースで行うので、見やすくてシンプルなセットアップとパラメータ設定を行うことができます。 

interferoMETER IMS5400が選ばれる理由とは?

  • 距離の変動やターゲットの振動に影響されない、ナノメートル精度での厚さ測定
  • 反射防止加工されたターゲットでも、遠距離から安定した測定が可能。
  • 堅固な金属製ハウジングとフレキシブルなケーブルを備えており、産業用途に最適
  • 高速測定を可能にする最大6 kHzの測定レート
  • Ethernet / EtherCAT / RS422

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