ナノメートル精度の距離・厚み測定に対応した高精度な白色光干渉計

2020-10-01

マイクロエプシロンの白色光干渉計は産業用途に適しており、常に安定した測定結果をもたらします。interferoMETERはコントローラ、センサ、光ファイバケーブルで構成されていて、センサは産業用測定タスク向けに開発されました。堅固な金属製ハウジングとフレキシブルなケーブルが備わっています。
接続はEtherNetやEtherCATといった多数のアナログ/デジタルインターフェースを介して簡単に行え、設定はセットアップやパラメータ化用の使いやすいWebインターフェース経由で行います。
薄くて透明な材料の厚み測定には、高精度なIMS5400-THを使用します。センサがターゲットまでの距離とは無関係に測定値を記録するため、ひらひらはためく物体や位置の不規則さは無視することができます。近赤外光源により、反射防止コーティングガラスの厚さ測定も可能です。
産業用距離測定に適したIMS5400-DSシステムは、絶対的な測定値を提供するだけでなく、信号損失なしにステップやエッジを確実に検出します。
IMS5600-DSは、クリーンルームや真空中(超高真空)での距離測定用に設計されており、コントローラに特殊な調整を行うことにより、例えばウェハーのアライメントやステージのポジショニングなどに必要なサブナノメートルの分解能と、±10nm以下の直線性を実現しています。

白色光干渉計のメリット

  • サブナノメートル領域までの精度
  • 堅固で産業用途向けに最適化された構造
  • 絶対距離の測定
  • 距離に依存しない厚み測定
  • 高い信号安定性
  • 真空環境に適したセンサとケーブル

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