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高分解能かつコンパクト

新世代の共焦点式センサ

confocalDT

精密な測定タスクに対応した世界最大のセンサポーフォリオ

confocalDT

あらゆる表面の高精密な変位・距離測定

confocalDT

世界中で実証された幅広い対応分野:工業、ロボット工学、半導体/真空

confocalDT

共焦点測定技術をリード

confocalDT

オートメーション、製造監視に理想的

共焦点クロマティックセンサ

confocalDT センサシリーズの特徴は、共焦点式測定技術における最高の精度とダイナミクスです。これらのセンサは、距離測定でも透明なターゲットの厚さ測定でも、高精度かつ高速で測定を行います。革新的なコントローラとセンサ技術があらゆる表面で高度な信号安定性が確保し、高性能なセンサのラインナップがフロートガラス製造、測定機器、半導体製造機器など、多様な測定タスクのソリューションを実現します。

最高精度と多様な応用可能性を備えた、シリーズ生産やOEM向けの厳しい測定タスクに最適なセンサです。

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特徴

  1. 驚異的な分解能と測定レートによる距離・厚み測定
  2. オートメーションや製造監視に最適
  3. 鏡やガラスなど、様々な表面特性に対応
  4. 細部を検出するための安定性のある極小測定スポット
  5. ナノメートル精度の分解能
  6. 理想的なS/N比を備えた工業用途向きコントローラ
  7. 真空におけるアプリケーションに最適な受動測定システム
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Micro-Epsilon Japan株式会社
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共焦点式変位測定および厚さ測定における最高の精度

confocalDTセンサシリーズの特徴は、共焦点式測定機器における最高の精度とダイナミクスです。これらのセンサは多種多様な測定タスクのソリューションに活用されています。 

正確な測定を実現する最大のセンサポーフォリオ

各測定タスクに適したセンサをお選びいただくために:限られた設置スぺース、曲面の測定、半導体産業におけるナノメートル精度の測定など、confocalDTセンサでは、数々のアプリケーションで実績のあるシリーズを多数ご用意しております。

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新世代のセンサ

confocalDT IFD2415とIFD2410は、コントローラ内蔵の高性能な共焦点式センサです。IP65の省スペース型ハウジングは光ファイバケーブルが不要なため、素早く組み込むことができます。これらのセンサは高精度な距離・厚み測定に最適です。IFD2415の場合は、最大5層までのマルチピーク厚み測定も可能です。アクティブな露光時間制御により、25 kHzまでの動的なプロセスにおいても様々な表面を安定して測定することができます。

詳細情報

高分解能・高速:高精度な距離測定と厚み測定

confocalDTセンサは極めて優れたS/N比を実現し、高精度で測定を行うことができます。素早い表面補正により、変化する表面でも極めて安定した信号が得られます。

小さな光点:細部や構造の測定

高い開口数(NA)を備えたマイクロエプシロンの共焦点式センサは、3 µm未満の極小の光スポットを生成します。それにより、細部や構造が確実に検出されます。

大きな傾斜角

confocalDT IFSセンサの測定角度は最大48°と広角なので、曲面や特に複雑な構造の表面を確実に検出し、安定した信号を生成します。

真空環境での使用

受動部品で構成されているconfocalDT センサは、周囲に熱放射を放出しません。クリーンルーム、真空環境、超高真空(UHV)などの仕様に適合する、真空環境での使用に特化したセンサ、ケーブル、アクセサリーがあり、軸方向および放射方向のビームパスを搭載し様々な測定範囲に対応したモデルをご提供しています。

工業、ロボット光学、真空環境に対応した堅牢な光ファイバケーブル

あらゆる表面で高精度を実現

Webインターフェースを介した容易な操作

コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアを必要とすることなく、使いやすいWebインターフェースを介して実行されます。すべての設定を行えるWebインターフェースは、Ethernet接続を介して呼び出すことができます。厚み測定用に、自在に拡張可能な材質データベースが保存されています。

容易な統合を可能にする多数のインターフェース

工業用途における正確な測定に理想的

動画:距離・厚み測定用の色共焦点センサ

インターフェースユニットと算出ユニット

アプリケーション

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