共焦点クロマティックセンサ

confocalDT IFS 2402
特徴
  • 測定範囲(mm)0.4 | 1.5 | 2.5 | 3.5
  • 直線性 最大0.3 µm
  • 分解能 最大0.016 µm
  • 独自の小型センサ
  • 穴での測定
  • 軸方向または90°側視方向での仕様
  • ステンレス製またはチタン製ハウジング
  • 正確な位置合せのための斜角面付き90°側視タイプ
特徴
  • 測定範囲(mm)0.4 | 1.5 | 4 | 10
  • 直線性 最大0.3 µm
  • 分解能 最大0.016 µm
  • ハイブリッド構造のセンサ
  • ステンレス製ハウジング
  • より大きなオフセット距離
  • 軸方向タイプと90°側視方向タイプ
特徴
  • 測定範囲 2mm
  • 直線性 最大 1 µm
  • 分解能 0.040 µm
  • 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
特徴
  • 測定範囲(mm)0.3 | 1 | 3 | 6 | 10 | 28 | 30
  • 直線性 最大0.15 µm
  • 分解能 最大0.01 µm
  • 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
  • 高感度
特徴
  • 測定範囲(mm)2.5 | 3 | 10
  • 直線性 最大0.75 µm
  • 分解能 最大0.024 µm
  • 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
  • 小さな光点
  • 真空内でも使用できるセンサ構造
特徴
  • 測定範囲(mm):0.3
  • 直線性 最大 0.75 µm
  • 分解能 最大 10 nm
  • 変位および表面粗さ測定に理想的
  • 小さい測定点 6 µm
  • 高い感度と大きい傾斜角
特徴
  • 測定範囲(mm):0.1
  • 直線性 最大0.05 µm
  • 分解能 最大3 nm
  • 距離および表面粗さ測定に理想的
  • 高速プロセス向けに光度が強めの仕様も入手可(NA 0.7)
  • 小さい測定点3 µm
  • 高い感度と大きい傾斜角
  • 透明な測定対象物での厚さ測定は5 µmから可能
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