共焦点クロマティックセンサ
Compact sensor - large offset distance
with high precision
マイクロエプシロン社では、様々な分野での測定タスクのために幅広い共焦点式センサプログラムを提供しています。共焦点式センサのビーム経路は軸方向に通るため、陰影効果が生じることはありません。そのため、スリーブやくぼみも測定することが可能です。高精度な測定タスクに対応した標準センサ以外にも、測定方向が軸方向と90°側視方向の小型共焦点式センサもご用意しております。90°の仕様では、穴やくぼみの内部で測定を実行できます。センサは受動型で、測定対象物に対して熱を放射しません。仕様によっては、真空空間のような厳しい環境でも使用することができます。
confocalDT IFS2402シリーズの共焦点式変位センサは、狭小なスペース内で高精度な測定を行うために設計されています。IFS2402シリーズの共焦点クロマティック小型センサの外径はわずか4 mmで、筐体はステンレスです。狭いくぼみや穴での測定に使用でき、とりわけ内壁や構造の検査時では90°側視センサタイプが非常に役立ちます。
- 測定範囲（mm）0.4 | 1.5 | 2.5 | 3.5
- 直線性 最大0.3 µm
- 分解能 最大0.016 µm
- 独自の小型センサ
- 穴での測定
- 軸方向または90°側視方向での仕様
- ステンレス製またはチタン製ハウジング
- 正確な位置合せのための斜角面付き90°側視タイプ
共焦点クロマティックセンサconfocalDT IFS 2403では、2つの優れた共焦点フォームファクタのコンセプトが持つ長所が組み合わさっています。外径が8 mmとIFS2402シリーズの小型センサ並みに細い形状でありながら、開口数がIFS2402シリーズより大きいので、直径4 mmのモデルよりはるかに多くの反射光を受.光することができます。このセンサも照射が軸方向タイプと、90°側視方向タイプのモデルをお求めいただけます。
- 測定範囲（mm）0.4 | 1.5 | 4 | 10
- 直線性 最大0.3 µm
- 分解能 最大0.016 µm
- ハイブリッド構造のセンサ
- ステンレス製ハウジング
- より大きなオフセット距離
- 軸方向タイプと90°側視方向タイプ
confocalDT IFS2404シリーズの共焦点式変位センサは、狭小なスペース内で高精度な測定を行うために設計されています。このセンサは特殊なレンズ技術を用いた構造で、高い分解能と直径が非常に小さい光点を実現しており、とりわけ大量注文時での投入に適しています。
- 測定範囲 2mm
- 直線性 最大 1 µm
- 分解能 0.040 µm
- 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
共焦点クロマティック式 90° センサ confocalDT IFS2404/90-2 は、精確な変位、距離、位置および厚さ測定のために設計されており、センサに 90° のレンズが備わっているので狭小なスペースでの取り付けも行えます。2404 シリーズのセンサは特殊なレンズ技術を用いた構造で、高い分解能と直径が非常に小さい光点を実現しており、とりわけ大量注文時での投入に適しています。
- 測定範囲 2 mm
- 直線性 最大 1 µm
- 分解能 0.040 µm
- 大量注文での使用向け
- 狭小なスペースでも取り付けられる90° のレンズ
confocalDT IFS 2405シリーズの共焦点式センサは、高精度な測定を行うために設計されています。オフセット距離が大きく、センサ角度に多少傾きがあっても許容されます。通常の測定タスクだけでなく、透明体の片側からの厚さ測定にも適しています。
- 測定範囲（mm）0.3 | 1 | 3 | 6 | 10 | 28 | 30
- 直線性 最大0.15 µm
- 分解能 最大0.01 µm
- 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
- 高感度
鏡面や透明な表面での距離測定だけでなく、透明なフィルムやプレートあるいは層での片側からの厚さ測定にも使用することができます。さらに、IFS2406-2.5モデルではセンサ構造が真空内での使用に適しており、軸方向タイプと90°側視方向タイプがあるので、使用方法も非常に多種多様です。
- 測定範囲（mm）2.5 | 3 | 10
- 直線性 最大0.75 µm
- 分解能 最大0.024 µm
- 距離測定や片側からの厚さ測定に最適
- 小さな光点
- 真空内でも使用できるセンサ構造
共焦点クロマティック式 90° センサ confocalDT IFS2407/90-0,3 は、精確な変位および表面粗さ測定のために設計されており、センサに 90° のレンズが備わっているので狭小なスペースでの取り付けも行えます。センサ内のレンズが小さな測定点を生成することにより、高い空間分解能が実現されます。小さい測定点が大きい傾斜角と組み合わさることで、非常に高度な精確さが要求される表面粗さ測定での使用も可能となっています。
- 測定範囲（mm）：0.3
- 直線性 最大 0.75 µm
- 分解能 最大 10 nm
- 変位および表面粗さ測定に理想的
- 小さい測定点 6 µm
- 高い感度と大きい傾斜角
共焦点クロマティックセンサconfocalDT IFS2407-0,1は、高精度で距離・粗さ・厚さ測定を行うために設計されました。開口数が非常に高いので（NA 0.8）、透明な測定対象物でも5 μmから厚さ測定が可能です。高速プロセス向けには、光度の強い仕様（NA 0.7）もご用意しています。
- 測定範囲（mm）：0.1
- 直線性 最大0.05 µm
- 分解能 最大3 nm
- 距離および表面粗さ測定に理想的
- 高速プロセス向けに光度が強めの仕様も入手可（NA 0.7）
- 小さい測定点3 µm
- 高い感度と大きい傾斜角
- 透明な測定対象物での厚さ測定は5 µmから可能
共焦点クロマティックセンサ confocalDT IFS2407-3 の測定範囲は3 mmと大きいだけでなく、長いオフセット距離も備わっています。傾斜角が± 30°と大きいので、confocalDT IFS2407-3 はギアや雄ねじといった曲率の大きい表面に特に適しています。
- 測定範囲（mm）：3
- 直線性 最大 0.75 µm
- 分解能 最大 20 nm
- 約 28 mmの長いオフセット距離
- 最大± 30°の傾斜角
- 曲率の大きい表面や鏡面反射表面での測定に理想的
