共焦点クロマティックセンサを用いたレンズのアライメントのモニタリング

共焦点クロマティックセンサは光学系のアライメント測定に使用されます。複数のセンサが光学系上で直接測定し、ナノメートルの精度で傾きを捉えます。電磁式センサとは異なり、共焦点クロマティックセンサはガラス表面でも確実に測定することができ、高い測定レートによりレンズの動きの動的変化も確実に検出することが可能です。