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Abstandsmessung für Industrieanwendungen

要求の厳しい産業用途に対応した精密な距離測定

Micro-Epsilonの新しい共焦点式センサconfocalDT IFS2407-6は、半導体製造や電池箔生産などの産業用測定タスクにおいて高精度な距離測定を実現します。広い測定範囲、±1マイクロメートル未満の高い直線性、そして非常に強い光強度により、これまで測定が困難だった表面も確実に、素早く、高精度に検出します。

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薄膜の高精度なインライン測定

新しい白色光干渉計であるinterferoMETER IMS5200-26THシリーズは、1~100マイクロメートルのフィルムやガラスなど透明な層の厚みをナノメートルの精度で測定することができます。最大24 kHzの測定レートを誇る新しい白色光干渉計は、真空中で使用できますので半導体の製造やコーティングプロセスにおける動的な測定タスクに適しています。

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eddyNCDT 3005

量産用途向けのコンパクトな変位測定システム

eddyNCDT 3005は、高精度かつ高速な変位測定用に設計された強力な渦電流式センサシステムです。コンパクト設計、高い温度安定性、堅牢な構造により、eddyNCDT 3005は産業用測定タスクやオートメーションソリューションに最適です。

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Konfokal-chromatische Controller confocalDT IFC2411 IFC2416

次世代:高い光強度を持つ共焦点コントローラ

新型の色共焦点コントローラconfocalDT IFC2411および IFC2416では、距離と厚さを高精度に測定できます。コンパクトで堅牢なコントローラは、測定精度と測定速度において新しい基準を打ち立てます。高い光強度と25kHzの測定レートにより、要求の厳しい測定にも適しています。最新のインターフェースは、産業環境への迅速な統合を可能にします。

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