シャックハルトマン波面センサ
SHSlabは高精度に組み上げられたシャックハルトマンカメラ(SHSCam)とオールインワンソフトウエア(SHSWorks)で構成されており、箱を開けたその時から高精度で計測を始めることのできる波面計測システムです。レーザー光の特性計測、光学部品計測、光学系のアライメント等の様々なアプリケーションに対応し、高速でありながら、高精度で計測することが可能です。
SHSLab 波面センサ アプリケーション
SHSCam シャックハルトマンカメララインナップ
幅広いラインナップで様々なアプリケーションに対応可能なシャックハルトマン波面センサ
- SHSCam AR2 - 小型ディテクタに超高密度MLA採用のシャックハルトマンセンサ
- SHSCam HR2 - 高感度、高精度の中版サイズシャックハルトマンセンサ
- SHSCam SHR4 - 大判ディテクターに高密MLAを搭載したシャックハルトマンセンサ。
- SHSCam UHR3 - 15.2mm²サイズディテクターに高密MLAを搭載したシャックハルトマンセンサ
- SHSCam XHR2 - 超大判フルサイズディテクタのシャックハルトマンセンサ。
- SHSCam - Sシリーズ - 超高速演算対応。FSO等のアプリケーションに最適なシャックハルトマンセンサ
- SHSCam - UVシリーズ – UV光用に最適化をされたシャックハルトマンセンサ
- SHSCam UHR DUV - 200nm以下のDUV波長に最適化されたシャックハルトマンセンサ
- SHSCam SWIR - IR光用シャックハルトマンセンサ。
SHSLab 性能- 事例
SHSWorks - オールインワンの波面計測・分析ソフトウエア
詳細な波面分析により、様々なアプリケーションにも対応ができるパワフルなソフトウエア
- 20次 120項まで対応するゼルニケ解析
- PSF/MTF解析
- レーザー光源解析
- 全ての設定情報をセットアップファイルとして保存。ワンクリック(コマンド)で変更可能
- 瞬時に行うカスタマイズ性の高い詳細な合否判定
- 多彩な自動レポート&ログ機能
SHSLab測定原理
マイクロレンズアレイから得た最適なスポットの位置情報をディテクタ上で計測し、自社開発のアルゴリズムによりダイレクトに波面を演算します。
波面によって計測できること(一例)
ゼルニケ展開: 個別の項での解析
PSF/MTF計測: 任意のゼルニケ項を差し引いて演算が可能でどの収差がMTF/PSFに影響を与えているかの解析
レーザー光解析: 波面とプロファイルの計測からビームウエスト位置、広がり角、レイリー長の演算・M²の計測
小型ディテクタながら高細密
- ディテクタサイズ: 4.8x3.6mm
- 選べるMLA数: 43x32, 71x53
- 解析速度: 30Hz
- 計測波長範囲: 400-1100nm
中版サイズのディテクタに細密なマイクロレンズを搭載。インターフェースをUSB3.0, GigaEthernetから選べる。
高感度・高精度のオールラウンドシャックハルトマンセンサ
- ディテクタサイズ: 11.2 x 7.0 mm
- 選べる横分解能: 85 x 53, 125 x 79 スポット
- 解析速度: 14, 20Hz
- 計測波長範囲: 400-1100nm
高い分解能で様々なアプリケーションに対応
- インターフェースをUSB3.0, GigaEthernetから選択可能
- ディテクタサイズ: 10.3 x 10.3 mm
- 選べる横分解能: 79 x 79, 117 x 117スポット
- 解析速度: 3Hz
- 計測波長範囲: 400-1100nm
広いディテクタサイズ、超高分解能で様々なアプリケーションに対応。
- GigaEthernet接続で簡単設定
- ディテクタサイズ: 15.2 x 15.2 mm
- 超高分解能: 117 x 117, 203 x 203スポット
- 解析速度: >7Hz
- 計測波長範囲: 400-1100nm
広いディテクタサイズ、超高分解能で様々なアプリケーションに対応。
- GigaEthernet接続で簡単設定
- ディテクタサイズ: 36.4 x 27.6 mm
- 超高分解能: 331 x 251スポット
- 解析速度: 1Hz
- 計測波長範囲: 375-900nm
最高速度1kHzの高精度、超高速を両立したシャックハルトマンセンサでAO用途や製造ラインでの計測、アライメントに最適。
- インターフェースGiga Ethernet, Camera Linkの2種。
- ディテクタサイズ: 4.8 x 3.6㎜, 10.3 x 8.5 mm
- 選べる横分解能: 32 x 24, 37 x 28, 69 x 57スポット
- 解析速度: 50-1000Hz (1kHzのスピード時には範囲指定が必要となります。また、ソフトウエアはdllベースのものとなります)
- 計測波長範囲: 400-1100nm
UV光に感度の高いハードウエアでより効率的に微細なUV光の波面を計測できます。また高い分解能で様々なアプリケーションに対応。
- GigaEthernetインターフェース簡単接続
- ディテクタサイズ: 8.9 x 6.7, 8.7 x 6.5, 15.1 x 15.1mm
- 選べる横分解能: 69 x 51, 67 x 49, 116 x 116 スポット
- 解析速度: <20Hz
- 計測波長範囲: 193-355nm
高品質IRカメラを使用したSWIR光用シャックハルトマンセンサ。赤外フィルターやレンズ等の計測を含め、様々なアプリケーションに対応
- GigaEthernetインターフェース簡単接続
- ディテクタサイズ: 15.9 x 12.7, 9.6 x 7.6mm
- 横分解能:45 x36, 45 x 35スポット
- 解析速度: 30Hz
- 計測波長範囲: 900-1700nm