静電容量式センサを用いたウェーハステージのポジショニング

"ウェーハステージでの微細なポジショニングには静電容量式変位センサが使用されています。センサが様々な箇所でステージの位置を測定するので、微調整を行う際には特に役立ちます。三軸設計により電磁界の影響を受けにくく、ナノメートル領域の分解能を実現してるだけでなく、極めて高い長期安定性を実現しています。非接触式センサは真空領域用に設計されているので、超高真空領域でも使用が可能です。"