ウェーハ取り扱い時でのポジショニング

ウェーハの取り扱い時では、正確かつ再現性のあるポジショニングが極めて重要です。ウェーハを送り込む時に2つのoptoCONTROLレーザマイクロメータが直径を点検し、水平位置を決定します。高い測定レートと卓越した測定精度により、マイクロメータが位置に関する信頼性の高い情報を提供します。互いに相対する2つのマイクロメータの位置に応じて、異なるウェハ径を検出することが可能です。