スピンドルの振れ測定

高周波スピンドルでは、正確な振れや工具の軸振れが重要な役割を果たします。そのため、マイクロエプシロン社の非接触式誘導変位センサは、振れまたは軸振れの監視に使用されます。渦電流技術に基づいたこのセンサは、設置スペース内にオイル、温度変動、汚れがあっても高い分解能を提供します。これによって、マイクロメートル範囲の測定精度に達することができます。また高い周波数特性により、回転数が120,000 rpmを超える高周波スピンドルも監視することができます。測定ではNCDT 3005測定システムが使用されます。この測定システムは、軸へ収縮されるアルミニウムリングを非接触で測定します。半径方向に90°ずらして取り付けられた2台のセンサがスピンドルとの距離を測定し、値を制御システムへ出力します。