計測技術と検査技術

計測・検査機器にとって最も重要な要素となるのは、採用される計測技術です。
そのため分解能や直線性といった計測技術に関するパラメータは、正確なデータ把握を実現するのに決定的な役割を果たします。マイクロエプシロンは、計測・検査機器に向けた最高精度の測定技術を多数ご提供しています。
座標測定機の光学測定プローブ

共焦点クロマティックセンサは開口角(開口数)が大きいため、高い分解能と小さい集光点が実現されています。さらに、センサを大きな角度で傾斜させることができるため、座標測定機のでジオメトリチェックや粗さ測定にも使用することができます。
詳細を表示する座標測定装置での接触プローブの誤差補正

Zeiss 社による座標測定装置は、数十年以上前からその最高度の品質と精度、信頼性で知られています。モバイル型の測定機械 ScanMax もこの要求を満たしていますが、そこで使用されているマイクロエプシロン製インダクティブ変位センサはその精度に大きく貢献しています。
詳細を表示する屋根瓦の表面評価と 3D 検査

屋根瓦の生産では、均一な高品質を保証するために高度な計測技術と検査技術が要求されます。半自動式測定・点検システム DASTOKON や パイロットプラント ...
詳細を表示するインゴットの形状検査

光起電モジュールの生産ではインゴットが薄いウェーハに切断されますが、インゴットの製造時に、モジュール内でのウェーハの配列に影響を及ぼす形状偏差が発生する場合があるため、インゴットに偏差が無いか切断前に検査されます。この検査では特殊測定システムの中で4つの ...
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