接着接続の二軸式検査

接着接続層の厚さは0.2～0.3ミリメートルでしかない場合が多く、検査時にはサンプルに張力（軸方向変位量）および／またはねじれ（トーション）による負荷がかけられます。このごくわずかな変位を測定するには、極めて高精度かつ安定した測定システムが必須となるため、検査装置にはマイクロエプシロン製静電容量センサが3つ備わっています。このセンサは、capaNCDT 6500 シリーズの静電容量コントローラを介して付属の復調器モジュール DL6530 と接続されており、二重管サンプルの管接続部品に特殊なホルダーで直接固定されます。測定範囲が2mmの2つのフラット形状センサが軸方向の変位を測定し、シリンダー形状のセンサがねじれによる変位の測定を行います。非接触式の測定技術を使用するので、軸方向の変位とねじれによる変位を、互いに影響を及ぼすことなく簡単に測定することができます。