レンズキャリアの傾き点検

静電容量変位センサがレンズキャリアの傾きをナノメートルの精度で測定します。卓越した測定精度で再現性の高いプロジェクションが可能となっており、複数のセンサが金属製キャリア上で測定を実施します。解像度が非常に優れているので、正確なウェハ露光が行えます。