ウェーハ取り扱い時でのポジショニング

ウェーハの取り扱い時では、正確かつ再現性のあるポジショニングが極めて重要です。ウェーハを送り込む時に2つのoptoCONTROLレーザマイクロメータが直径を点検し、水平位置を決定します。高い測定レートと卓越した測定精度により、マイクロメータが位置に関する信頼性の高い情報を提供します。互いに相対する2つのマイクロメータの位置に応じて、異なるウェハ径を検出することが可能です。

View product

optoCONTROL 2520

Micro-Epsilon Japan K.K.
#1003 Facade Building, 1-23-43, Esaka-cho,
Suita-shi, Osaka 564-0063, Japan
Yukihiro.Makinae@micro-epsilon.jp
+81 (0)6 6170 5257
+81 (0)6 6170 5258