センサーとセンサーシステムを駆使した厚さ測定
研究開発や工業生産において、厚さ測定は決定的なパラメーターです。手動での断続的な測定は不可能ではないものの、高い測定精度が要求される場合や、生産プロセスを中断できない場合、または過酷な環境下での測定が必要な場合は、どうしても限度があります。そのためマイクロエプシロンは、高精度な非接触厚さ測定が実現でき、多様な業界で活用可能な変位センサーと測定システムをご提供しています。この測定方法は片面測定と両面測定の2種類に分類され、片面測定ではセンサーが測定対象物の厚さを一方の面から測定し、両面測定では同一軸上で対向配置された少なくとも1組のセンサーで測定を行います。
静電容量変位センサーによる両面厚さ測定
導電性物質の超高精度厚さ測定には、対向配置された静電容量式距離センサーが使用できます。インテリジェントコントローラーがセンサー信号の処理と計算を行い、厚さ測定値を直接出力します。両面厚さ測定により、シリコンウェーハやコーティングされたバッテリーフィルムといった非常に薄い測定対象物の厚さでも、高精度かつ安定して測定することができます。
レーザーセンサーによる両面厚さ測定
測定対象物の両側に配置されたレーザー変位センサーが、差分厚さ測定法でさまざまな対象物の厚さを検出します。非接触式厚さ測定は、プラスチック、金属、木材、コーティングされたガラスなど、多様な材料に対応できます。正確な測定結果を得るには、対向配置されたセンサーを同期させて精密に調整する必要があります。測定範囲に応じて、センサー間の距離を大きくして配置することも可能です。
thicknessSENSORは、このタイプの厚さ測定に使用できるターンキーセンサーシステムです。
金属ストリップとプレートの厚さ測定システム
マイクロエプシロンは、金属ストリップと金属プレートの厚さ監視のための測定システムをご提供しています。このシステムは用途に特化したセンサーを搭載しており、仕様によっては、冷間圧延機でも熱間圧延機でも非接触式厚さ測定に使用されています。ストリップ幅の横方向監視にはOフレームシステムが用いられ、各トラックの厚さ測定にはCフレームシステムが使われます。厚さ測定システムは合金や表面状態に依存しないので、多様な用途で適用が可能です。
マイクロエプシロンの測定システムによる金属厚さ測定の詳細を読む
白色光干渉計による安定した厚さ測定
白色光干渉計IMS5400-THは、比較的長い距離から高精度な厚さ測定を行うために使用されます。測定が距離に依存せず、移動する対象物でもナノメートル単位の厚さ値を測定できることが最大の利点です。測定範囲が広いので、薄膜、平板ガラス、フィルムの測定が可能です。マルチピークコントローラー仕様では最大5層または空気層を同時に測定できるため、透明な対象物、コーティング、ラミネートガラスの多層厚さ測定が実現されています。
白色光干渉計によるシリコンウェーハの厚さ測定
IMS5420干渉計は、不純物添加のないシリコンウェーハ、不純物添加のあるシリコンウェーハ、および高濃度不純物添加のシリコンウェーハの厚さ測定が可能です。このウェーハ厚さ干渉計は500 µmから1050 µmまでのシリコンウェーハの厚さを測定し、高濃度で不純物が添加されているシリコンウェーハであっても、最大0.8 mmの厚さが測定できます。この干渉計はマルチピーク厚さ測定システムとしても使用でき、マルチピーク仕様では例えばウェーハの厚さ、空気層、膜、コーティングといった最大5層の厚さ測定が行えます。
ストリップ材やプレートの高精度厚さ測定用センサーシステム
thicknessGAUGEセンサーシステムは、2つの光学式距離センサーが取り付けられている安定したフレームで構成された、完全組み立て済みのシステムです。センサーのタイプ、測定範囲、測定幅が異なる複数のモデルがあるので、様々な種類の材料や表面のインライン厚さ測定が可能です。
